日新電機(株)【6641】の掲示板 2016/07/29〜2016/10/31

>>562

日新電機における半導体製造装置部門である日新イオン機器はイオン注入装置専業です。
FPD製造用イオン注入装置市場で世界シェア80％以上で第６世代ガラス基板向け装置“iG6“ではマーケットシェアでは世界シェア100％です。　

アルバックはＦＰＤ向けのイオン注入装置はやってません。
住友重機械イオンテクノロジーは今の所、開発生産納入出来ているのは4.5世代（730mm×920mm）までです。おそらく第6世代(1,500mm×1,850mm）も開発は行っているはずです。
三井造船も実際に開発生産納入できているのは4.5世代（730mm×920mm）まで。、第5.5世代(1,300mm×1,500mm)対応は実績はあるとの事。第6世代は(1,500mm×1,850mm）開発中のようです。

日新電機では第5.5世代(1,300mm×1,500mm)、第6世代は(1,500mm×1,850mm）共に世界で初めて開発し生産納入しています。

またイオン注入装置は他の半導体製造装置、スパッリング装置、真空蒸着装置、洗浄装置、プラズマＣＶＤ装置、アッシング装置などと比べても参入している所が非常に少ないです。