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サムコ(株)【6387】の掲示板 2015/04/28〜2019/11/06

IRが出てるな

>汎用ICPエッチング装置を大幅モデルチェンジ
『RIE-200iPN』の販売を開始

当社は、マイクロLEDやLD(半導体レーザ)GaNパワーデバイスなどの化合物半導体プロセスや難エッチング材料加工、シリコンナノプロセスでの研究開発からセミ量産に対応したICP(Inductively Coupled Plasma = 誘導結合型プラズマ)エッチング装置の新製品『Model:RIE-200iPN』を開発、販売を開始します
 当社は、LDやLED、高周波デバイスなどに応用されているワイドバンドギャップ半導体分野のリーディングカンパニーとして、国内はもとよりアジアや欧米においても同分野向けにドライエッチング装置やプラズマCVD装置、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)装置を拡販しています。小型の研究開発用からカセット式の生産用までラインナップしており、幅広いニーズに対応しています